氧化鋁阻容露點儀的結(jié)構(gòu)下圖所示。氧化鋁層上的電 膜可采用金、鋁、鉑、鈀、鎳鉻合金等。其中鈀和鎳鉻合金具有良好的黏附性能,而鉑和金則具有化學(xué)惰性。成膜的方法一般采用噴涂法或真空鍍膜法。由于水汽直接穿過電 膜進(jìn)入氧化鋁層,因此電 膜越薄越好。電 的導(dǎo)線采用細(xì)銅線或細(xì)金線,用銀導(dǎo)電漆點粘在膜上。導(dǎo)線與膜應(yīng)保持緊密機(jī)械接觸。鋁基 的導(dǎo)線可用鋁條咬合,并用環(huán)氧樹脂粘接固定。傳感器的形式可以是片狀或棒狀,不同的形式分別采用不同的結(jié)構(gòu)。敏感元件必須固定在具有電絕緣性和機(jī)械穩(wěn)定性的基座上。
氧化鋁阻容露點儀的核心部分是吸水的氧化鋁層。研究結(jié)果并經(jīng)高分辨率電子顯微照片證實,氧化鋁層布滿相互平行且垂直于其平面的管狀微孔,它從表面一直深入到氧化鋁層的底部,微孔的大小差不多是相同的,并且近于均布。